磁悬浮转子压力计在分压测量中的应用

磁悬浮转子压力计在分压测量中的应用

一、磁悬浮转子规在分压力测量中的应用(论文文献综述)

周明旭,李得天,郭立新,郭美如,习振华,李宇,李刚,邓永胜[1](2021)在《转子对磁悬浮转子真空计计量特性的影响研究》文中研究指明磁悬浮转子真空计是一种精密的黏滞型真空计,其核心部件是一个悬浮在真空中自由旋转的金属球(转子)。通过对不同直径变动量、球形误差、表面粗糙度、材质的转子进行对比实验,研究了转子与磁悬浮转子真空计稳定性、气体种类的相互关系及原因。结果表明,直径变动量为0.13μm、球形误差为0.13μm、粗糙度为0.014μm、直径为4.5 mm的GCr15高碳铬轴承钢材料转子具有最好的零点稳定性及较小的测量不确定度。

董猛,成永军,李得天,孙雯君,郭美如,赵澜,张瑞芳,吉康,孙健[2](2016)在《空间磁偏转质谱计校准装置设计及校准方法研究》文中研究指明为确保磁偏转质谱计空间探测应用测量数据的准确性,设计了一套校准装置对磁偏转质谱计进行地面校准。本文介绍了装置的结构设计,并根据校准装置和磁偏转质谱计自身的特点,提出了二种校准方法,分别为:分压力测量法和标样气体法。研究表明,校准装置的极限真空度可达到5×10-8Pa,二种校准方法对应不同的校准范围,可将质谱计的校准下限延伸至10-8Pa,比国内目前已报道的质谱计的校准下限低12个量级。

任国华,张涤新,赵澜[3](2013)在《质谱计校准技术发展现状》文中提出作为残余气体分析器和分压力测量的主要仪器,四极质谱计的使用越来越引起重视,使得其校准技术研究成为真空计量领域的一个热点问题,本文将从最初美国真空学会推荐的四种四极质谱计校准方法开始,讨论研究美国国家标准技术研究院(NIST)、德国联邦物理研究院(PTB)、意大利国家计量研究院(IGMC)、日本国家工业科学技术研究院(AIST)直到我国的清华大学和兰州空间技术物理研究所在四极质谱计校准技术方面的研究成果,分析这几个实验室方法的优缺点,为国内外同行提供参考。

宋瑞海,成永军,赵澜,张涤新[4](2010)在《虚拟仪器在气体微流量计测控系统中的应用》文中提出采用虚拟仪器技术开发了一个气体压力的自动测控系统,并用于高精度气体微流量计。本文详细介绍了高精度气体流量计压力系统的工作原理,及其压力测控系统的硬件组成和软件设计。系统的硬件部分使用台湾研华公司的PCI-1610采集卡和美国NI公司的IEEE-488数据采集卡,软件部分采用NI公司的LabVIEW图形化编程语言创建,实现了压力的测量与控制以及数据的自动保存。该系统具有界面友好、人机交互性强、编程简单、操作方便、控制效果好等优点。

张涤新,赵澜,成永军,冯焱,宋瑞海[5](2010)在《气体微流量测量技术的发展》文中研究指明本文介绍了美国NIST、德国PTB、日本NMIJ、意大利IMGC、韩国KRISS、中国计量科学研究院NIM和国防科技工业真空一级计量站(兰州物理研究所LIP)的气体微流量测量技术的研究进展,并对其测量方法,测量装置性能指标进行了评述。

成永军,李得天[6](2009)在《极高真空电离规的校准实验研究》文中研究指明介绍了2支反磁控型冷阴极极高真空电离规和1支热阴极极高真空电离规的校准实验研究结果。实验设备是一台极高真空校准装置,实验范围为10-9~10-1Pa,实验气体为N2。实验结果表明,尽管2次校准结果的重复性较好,但就单次校准结果来看,每个规的灵敏度(修正因子)的最大值和最小值之间的偏差较大。因此,极高真空电离规要得到准确的测量结果,对其进行精确校准是非常必要的。

李得天,张涤新,冯焱,成永军,卢耀文[7](2009)在《真空计量标准的研制与应用》文中提出兰州物理研究所研制了一系列真空标准装置,可用于真空规、方向规、分压力质谱计、真空漏孔和正压漏孔的校准。其静态膨胀法真空标准装置、动态流量法真空标准装置及超高/极高真空校准装置是用于真空规校准的三套基础标准,覆盖的校准范围为(10-10~105)Pa;程控式真空规校准装置适用于工业部门,其校准范围为(10-4~105)Pa;为实现质谱计的校准,研制了一台具有三路相同独立进样系统的分压力质谱计校准装置,标准分压力通过磁悬浮转子规以两种不同的方法进行测量,该校准装置可实现(10-7~10-1)Pa范围内的分压力校准;为实现真空漏孔的校准,研制了恒压式气体微流量标准装置和固定流导法气体微流量标准装置,恒压式气体微流量标准装置的校准范围为(10-8~10-2)Pa·m3/s,固定流导法气体微流量标准装置的校准范围为(10-10~10-5)Pa·m3/s,漏孔漏率的校准通过比较被校漏孔和标准气体微流量计在一台四极质谱计上引起示漏气体离子流的大小计算得到;为实现正压漏孔的校准,研制了一台正压漏孔校准装置,采用定容法和定量气体动态比较法对正压漏孔进行校准,校准范围为(5×10-8~10-1)Pa·m3/s;研制了一台定向流真空校准装置,实现对方向规的校准和非平衡态分子流的研究,装置的校准范围为(10-7~10-1)Pa。

成永军,李得天[8](2009)在《虚拟仪器技术在真空传递标准中的应用》文中提出磁悬浮转子规和电容薄膜规被用作真空标准之间国际比对的传递标准。为了减小由于人工操作和读数等引起的测量不确定度,利用虚拟仪器技术开发了磁悬浮转子规和电容薄膜规的数据采集与控制系统,并将其应用于分压力质谱计校准之中,实现了四极质谱计的精确校准。

宋瑞海,张涤新,成永军,赵澜[9](2008)在《基于LabVIEW的气体压力测试系统》文中研究说明采用虚拟仪器技术开发了一个气体压力的自动测试系统,并用于航天项目气体微流量计中。该文详细介绍了系统的硬件组成和软件的设计。系统的硬件部分使用PCI-1610采集卡和IEEE-488数据采集卡,软件部分采用LabVIEW图形化编程语言创建,实现了压力的测量与控制以及数据的自动保存。该系统具有界面友好、人机交互性强、编程简单、操作方便、控制效果好等优点。

卢耀文,冯焱,李得天[10](2007)在《四极质谱计的计量特性研究》文中指出四极质谱计是一种分压力测量仪器,可广泛应用于残余气体分析和真空流量的测量,其计量特性需要深入研究。用N2、Ar、He3种气体作为实验气体,对4台应用范围较广、具有一定代表性的商用四极质谱计的线性、长期稳定性、短期稳定性、离子源参量及使用历史对灵敏度的影响等性能进行了实验研究,并分析了它们各自的计量特性与特点,其结论对四极质谱计的应用具有重要的参考价值。

二、磁悬浮转子规在分压力测量中的应用(论文开题报告)

(1)论文研究背景及目的

此处内容要求:

首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景,再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题,并提出你的论文准备的观点或解决方法。

写法范例:

本文主要提出一款精简64位RISC处理器存储管理单元结构并详细分析其设计过程。在该MMU结构中,TLB采用叁个分离的TLB,TLB采用基于内容查找的相联存储器并行查找,支持粗粒度为64KB和细粒度为4KB两种页面大小,采用多级分层页表结构映射地址空间,并详细论述了四级页表转换过程,TLB结构组织等。该MMU结构将作为该处理器存储系统实现的一个重要组成部分。

(2)本文研究方法

调查法:该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。

观察法:用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。

实验法:通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。

文献研究法:通过调查文献来获得资料,从而全面的、正确的了解掌握研究方法。

实证研究法:依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。

定性分析法:对研究对象进行“质”的方面的研究,这个方法需要计算的数据较少。

定量分析法:通过具体的数字,使人们对研究对象的认识进一步精确化。

跨学科研究法:运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。

功能分析法:这是社会科学用来分析社会现象的一种方法,从某一功能出发研究多个方面的影响。

模拟法:通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。

三、磁悬浮转子规在分压力测量中的应用(论文提纲范文)

(1)转子对磁悬浮转子真空计计量特性的影响研究(论文提纲范文)

0 引言
1 磁悬浮转子真空计原理及实验装置
    1.1 磁悬浮转子真空计原理
    1.2 气体微流量校准装置
    1.3 静态膨胀法真空校准装置
2 实验测试及数据分析
    2.1 不同气体介质中实验测试
    2.2 不同转子真空计的实验测试
    2.3 不同转子真空计的零点稳定性实验测试
    2.4 静态膨胀法真空校准实验
3 结论

(4)虚拟仪器在气体微流量计测控系统中的应用(论文提纲范文)

1 测控系统的硬件设计
    1.1 硬件介绍
    1.2 硬件设计
2 测试系统的软件设计
    2.1 总体流程图设计
    2.2 主要子模块的说明
    2.3 最后给出高精度气体微流量计压力测控系
3 结论

(5)气体微流量测量技术的发展(论文提纲范文)

1 国外发展概况
    1.1 美国国家标准技术研究院 (NIST)
    1.2 德国物理技术研究院 (PTB)
    1.3 其它国家
2 国内研究的进展
    2.1 中国计量院 (NIM)
    2.2 国防科技工业真空一级计量站 (LIP)
3 小结

(7)真空计量标准的研制与应用(论文提纲范文)

1 真空规校准装置
    1.1 静态膨胀法真空基础标准[1]
    1.2 动态流量法真空基础标准[2]
    1.3 程控式真空规校准装置[3~4]
    1.4 超高/极高真空标准装置[5]
2 分压力质谱计校准装置[6~7]
3 漏孔漏率校准装置
    3.1 真空漏孔基础标准[8~9]
    3.2 固定流导法真空漏孔校准装置[10]
    3.3 正压漏孔校准装置[11~12]
4 定向流真空校准装置
5 结束语

四、磁悬浮转子规在分压力测量中的应用(论文参考文献)

  • [1]转子对磁悬浮转子真空计计量特性的影响研究[J]. 周明旭,李得天,郭立新,郭美如,习振华,李宇,李刚,邓永胜. 真空与低温, 2021(06)
  • [2]空间磁偏转质谱计校准装置设计及校准方法研究[J]. 董猛,成永军,李得天,孙雯君,郭美如,赵澜,张瑞芳,吉康,孙健. 真空, 2016(06)
  • [3]质谱计校准技术发展现状[J]. 任国华,张涤新,赵澜. 真空与低温, 2013(01)
  • [4]虚拟仪器在气体微流量计测控系统中的应用[J]. 宋瑞海,成永军,赵澜,张涤新. 真空, 2010(05)
  • [5]气体微流量测量技术的发展[J]. 张涤新,赵澜,成永军,冯焱,宋瑞海. 真空, 2010(01)
  • [6]极高真空电离规的校准实验研究[J]. 成永军,李得天. 真空与低温, 2009(04)
  • [7]真空计量标准的研制与应用[J]. 李得天,张涤新,冯焱,成永军,卢耀文. 真空, 2009(06)
  • [8]虚拟仪器技术在真空传递标准中的应用[A]. 成永军,李得天. 2009全国虚拟仪器大会论文集(一), 2009
  • [9]基于LabVIEW的气体压力测试系统[J]. 宋瑞海,张涤新,成永军,赵澜. 液压与气动, 2008(12)
  • [10]四极质谱计的计量特性研究[J]. 卢耀文,冯焱,李得天. 真空与低温, 2007(04)

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